[发明专利]非制冷红外探测器及其制备方法在审
| 申请号： | 202110537411.4 | 申请日： | 2021-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN113324662A | 公开（公告）日： | 2021-08-31 |
| 发明（设计）人： | 陈志勇;李文杰;陈明;刘奥星;童佩斐;李国啸;杨春雷 | 申请（专利权）人： | 深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | G01J5/20 | 分类号： | G01J5/20;C23C14/35;C23C14/08;C23C14/58;C30B29/46;C30B23/02;C30B33/02 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 孙伟峰;黄进 |
| 地址： | 518055 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种非制冷红外探测器，其包括自下而上依次设置的支撑衬底、隔热绝缘层、热敏电阻层、绝缘层以及吸收层。如上所述的非制冷红外探测器的制备方法包括：提供支撑衬底，在所述支撑衬底上依次制备形成隔热绝缘层、热敏电阻层和绝缘层；通过分子束外延生长工艺在所述绝缘层上生长呈直立状的硒化锡纳米片，形成所述吸收层；制备形成与所述热敏电阻层连接的第一电极和第二电极，获得所述非制冷红外探测器。本发明提供的非制冷红外探测器，以呈直立状生长的硒化锡纳米片作为吸收层，能够扩大红外吸收波段的范围，由此能够提高非制冷红外探测器吸收的红外辐射能量，进而提升将温度变化转换成电压(或电流)变化的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 制冷 红外探测器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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