[发明专利]一种多轴激光扫描光学系统

摘要

本发明属于激光加工领域，公开了一种多轴激光扫描光学系统，该系统包括动态聚焦模块(15)、光束平行平移模块(18)、二维扫描模块(7)和聚焦模块(8)；动态聚焦模块用于控制激光光束的直径以及输出激光的焦点的Z坐标；光束平行平移模块用于调节激光光束传输方向在Y轴上的投影位置、以及激光光束传输方向在Z轴上的投影位置；该系统能够通过调控输入至二维扫描模块的激光光束其沿Y轴及沿Z轴的离轴方向与离轴距离，基于平行离轴激光束聚焦后与焦平面之间夹角会发生变化的原理，实现输出激光光束其传播方向与Y轴方向之间的夹角α、以及传播方向与X轴方向之间的夹角β的调控，从而实现对激光的多轴调控。