[发明专利]一种在薄膜电路中集成薄膜电容器的方法

摘要

本发明涉及一种在薄膜电路中集成薄膜电容器的方法，包括：在薄膜电路基片表面沉积金属薄膜；在金属薄膜中加工出薄膜电路图形，包括起下电极作用的金属微带线；在薄膜电路图形表面依次涂布聚酰亚胺薄膜和正性光刻胶；对正性光刻胶进行曝光、显影，并用丙酮清洗掉表面的正性光刻胶，形成清洗后的第二中间产品；对清洗后的第二中间产品正面溅射金属层，形成上层金属；对上层金属进行光刻、蚀刻，形成上电极；上电极与对应的聚酰亚胺薄膜以及起下电极作用的金属微带线共同构成薄膜电容器。本发明采用聚酰亚胺作为电介质，避免了采用金属氧化物作为电介质时的高温制备过程，避免了高温和酸性刻蚀剂对产品质量的影响，同时简化了制备工艺。