[发明专利]一种高精度加速度传感器噪声性能分析方法及装置在审
| 申请号： | 202110525478.6 | 申请日： | 2021-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN113092820A | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | 刘婧;韩可都;李宗伟;杨长春;周永健 | 申请（专利权）人： | 中国科学院地质与地球物理研究所 |
| 主分类号： | G01P21/00 | 分类号： | G01P21/00 |
| 代理公司： | 北京众达德权知识产权代理有限公司 11570 | 代理人： | 张晓冬 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高精度加速度传感器噪声性能分析方法及装置，尤其涉及噪声性能分析领域。所述装置包括MEMS加速度传感器、信号采集装置、信号分析装置和控制器，所述MEMS加速度传感器包括MEMS敏感单元、前置放大器单元、模拟环路滤波器单元、静电力反馈单元；所述信号采集装置包括差分运算放大器、抗混叠滤波器、模数转换器、数据通信模块；所述方法基于所述装置而实现，本发明所述装置及方法可以应用在常规环境下，减少测试工作量，降低外界震动干扰对加速度传感器噪声性能分析的影响，提高加速度传感器及其后信号处理电路的噪声水平的测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高精度 加速度 传感器 噪声 性能 分析 方法 装置 | ||
【主权项】：
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