[发明专利]一种基于飞秒激光光丝效应的薄石英玻璃切割方法有效
| 申请号： | 202110520515.4 | 申请日： | 2021-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN113333966B | 公开（公告）日： | 2022-12-09 |
| 发明（设计）人： | 梅雪松;廖恺;王文君;崔健磊;刘斌;樊盼盼;运侠伦 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | B23K26/38 | 分类号： | B23K26/38;B23K26/402;B23K26/70 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人： | 贺建斌 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提出一种基于飞秒激光光丝效应的薄石英玻璃切割方法，该方法适用于厚度≤200μm的薄石英玻璃切割；采用高重频飞秒激光器结合高速高精度扫描振镜作为加工平台，通过改变激光参数来调控飞秒光丝长度、光丝能量分布、脉冲重叠率、脉冲能量沉积及光丝在石英玻璃内部的相对位置，进而实现石英玻璃高质高效切割；本发明能够对厚度≤200μm石英玻璃材料实现单次扫描直接切割，无需后处理过程，切割断面粗糙度小于1.5μm，切割边缘崩边小于12.5μm，加工速度达到10mm/s；该方法操作简单，光路调试方便，实现了薄石英玻璃切割加工效率和加工质量的同步提升。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 激光 效应 石英玻璃 切割 方法 | ||
【主权项】：
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