[发明专利]一种基于亚波长光栅的硅基偏振分束芯片及其制造方法在审
| 申请号： | 202110518045.8 | 申请日： | 2021-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN113126206A | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 冯吉军;刘海鹏 | 申请（专利权）人： | 苏州科沃微电子有限公司;上海理工大学 |
| 主分类号： | G02B6/126 | 分类号： | G02B6/126;G02B6/124;G02B6/13;G02B6/136 |
| 代理公司： | 上海湾谷知识产权代理事务所(普通合伙) 31289 | 代理人： | 杨希 |
| 地址： | 215431 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于亚波长光栅的硅基偏振分束芯片及其制造方法，其中，所述芯片包括：一硅基衬底；一设置在所述硅基衬底上的二氧化硅缓冲层；一设置在所述二氧化硅缓冲层上的基于硅波导的芯层，其包括：从左到右依次相连的一输入直波导、一第一亚波长光栅结构和一正弦函数弯曲波导，以及从左到右依次相连的一第二亚波长光栅结构和一输出直波导，其中，所述第二亚波长光栅结构与所述第一亚波长光栅结构平行设置并与该第一亚波长光栅结构的输入端对齐；以及一设置在所述二氧化硅缓冲层上并包覆在所述芯层外的二氧化硅包层。本发明不仅实现了偏振分束功能，而且具有结构简单紧凑、消光比高、带宽大、工艺流程不繁琐复杂等优异性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 波长 光栅 偏振 芯片 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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