[发明专利]工件涂层及其制备方法与应用有效
| 申请号： | 202110515640.6 | 申请日： | 2021-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN113249689B | 公开（公告）日： | 2021-12-10 |
| 发明（设计）人： | 林海天;李立升;郑礼伟;陈松 | 申请（专利权）人： | 东莞市华升真空镀膜科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/02;C23C14/06;C23C14/16;C23C14/18 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 吴燕琳 |
| 地址： | 523835 广东省东莞市大岭*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及零部件加工领域，特别是涉及一种工件涂层及其制备方法与应用。本发明通过在0V～‑200V的第一偏压下在工件上沉积厚度为100nm～200nm的第一膜层，使得第一膜层包含结晶取向的转变区，促使形成高密度的共格晶界，然后施加‑300V～‑2000V的第二偏压，沉积厚度为5nm～30nm的第二膜层，由于偏压的加速，沉积粒子的能量较高，阻断了第一膜层中晶体的连续生长，形成一个界面，使得再次施加第一偏压时，晶体从该界面重新生长，从而保证了结晶取向转变区和共格晶界在整个涂层中的占比较高，有效提升了整个涂层的硬度和韧性。 | ||
| 搜索关键词： | 工件 涂层 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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