[发明专利]一种水轮机导叶纳米晶与非晶复合结构多层硬质薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 202110506699.9 | 申请日： | 2021-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN113373407A | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | 郭岩;郭延军;黄海舟;杨林;李鹏刚;朱海宝;房璐璐;徐卫仙;许辉 | 申请（专利权）人： | 华电电力科学研究院有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/02;C23C14/16;C23C14/32 |
| 代理公司： | 杭州天欣专利事务所(普通合伙) 33209 | 代理人： | 张狄峰 |
| 地址： | 310030 浙江省杭州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种水轮机导叶纳米晶与非晶复合结构多层硬质薄膜的制备方法，硬质薄膜包括依次沉积于水轮机导叶表面的Cr底层、TiSi过渡层、TiSiN纳米晶与非晶复合结构过渡层、以及耐泥沙冲刷磨损TiSiCN纳米晶与非晶复合结构薄膜层；制备方法如下：清洗水轮机导叶的表面，将水轮机导叶放置到真空腔室内的旋转装置上进行旋转，并进行等离子体清洗，在水轮机导叶表面采用多弧离子镀物理气相沉积法依次沉积Cr底层、TiSi过渡层、TiSiN纳米晶与非晶复合结构过渡层以及耐泥沙冲刷磨损TiSiCN纳米晶与非晶复合结构薄膜层，得到水轮机导叶的纳米复合多层硬质薄膜。本发明能有效提高水轮机导叶的使用寿命，制备方法简单。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 水轮机 纳米 复合 结构 多层 硬质 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
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