[发明专利]一种高熵合金氮化物刀具涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 202110505154.6 | 申请日： | 2021-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN113308675B | 公开（公告）日： | 2023-04-25 |
| 发明（设计）人： | 邵文婷;伍翔宇;陈建;杨巍;武上焜;张瑞红;李仲硕;刘曜 | 申请（专利权）人： | 西安工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06;C23C14/02;C23C14/54 |
| 代理公司： | 西安维赛恩专利代理事务所(普通合伙) 61257 | 代理人： | 李明全 |
| 地址： | 710000 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高熵合金氮化物刀具涂层及其制备方法，对刀具基体依次进行除油处理和清洗；以AlTiVNbCr高熵合金靶和B靶为溅射源、氩气和氮气的混合气体为工作气体，采用射频磁控溅射和直流磁控溅射相结合的方式，在清洗后的刀具基体上沉积出(AlTiVNbCr)BN高熵合金氮化物涂层；本发明利用双靶共溅射的方式制备含B高熵合金氮化物刀具涂层，可精确控制B元素含量，避免了制备含B高熵合金靶材时B元素的大量挥发，工艺简单，成本低；以射频磁控溅射和直流磁控溅射相结合的方式所制备的涂层硬度高，晶粒尺寸小，结构致密，成分均匀；而且通过调整功率可以调节涂层厚度，从而提升超硬高熵合金氮化物涂层的硬度和耐磨性，扩大应用范围。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 合金 氮化物 刀具 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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