[发明专利]一种抛光液输送装置和化学机械抛光设备在审
| 申请号： | 202110499303.2 | 申请日： | 2021-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN113442068A | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 赵德文;魏聪;刘远航;李长坤 | 申请（专利权）人： | 华海清科（北京）科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02;B24B37/015;B24B37/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区经济技*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种抛光液输送装置和化学机械抛光设备，抛光液输送装置包括：基座，基座上设有基座孔；转轴，转轴设在基座孔内，且转轴设置为在基座孔内可选择性地转动；悬臂，悬臂相对于转轴可转动地连接在转轴上，其内部中空；抛光液管，抛光液管穿过基座孔后伸入悬臂内，用于输送抛光液；喷嘴组件，与抛光液管连通，喷嘴组件包括喷嘴座和设于喷嘴座下方的多个喷嘴；光照单元，光照单元环绕抛光液管设置以对其中的抛光液进行照射加热并通过控制光照单元照射抛光液的时长来调节抛光液的温度，和/或，不同喷嘴处分别设有光照单元以实现不同喷淋位置抛光液的不同温度控制；光照单元设置在悬臂内部并被悬臂全封闭包围以防止漏光对晶圆造成损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抛光 输送 装置 化学 机械抛光 设备 | ||
【主权项】：
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