[发明专利]利用多普勒效应的接触式振动光子传感器及其制造方法有效
| 申请号： | 202110494126.9 | 申请日： | 2021-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN112903085B | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 刘晓海;郭怡然 | 申请（专利权）人： | 欧梯恩智能科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G01H9/00 | 分类号： | G01H9/00;H01L21/67;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京商专润文专利代理事务所(普通合伙) 11317 | 代理人： | 王祖悦 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市姑*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种利用多普勒效应的接触式振动光子传感器及其制造方法。利用多普勒效应的接触式振动光子传感器，包括外封装层（9），所述外封装层（9）内还包括：硅基材料（1）和镜面体（2）；所述硅基材料（1）包括侧壁（10）和顶部开口的由侧壁（10）包围形成的腔体（11）；所述镜面体（2）设置于腔体（11）内，且所述镜面体（2）顶部具有镜面层（21），所述镜面体（2）的侧面通过悬臂梁（22）与所述侧壁（10）连接，所述悬臂梁（22）为弹簧形。本申请的接触式振动光子传感器利用多普勒效应提供准确的精准度，使用弹簧形的悬臂梁，可以提高镜面体（2）的振幅，提高传感器感应振动时的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 多普勒效应 接触 振动 光子 传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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