[发明专利]一种基于钎焊方式的靶材绑定方法有效
| 申请号： | 202110493339.X | 申请日： | 2021-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN113275684B | 公开（公告）日： | 2022-07-15 |
| 发明（设计）人： | 黄宇彬;谢小林;童培云;朱刘 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | B23K1/00 | 分类号： | B23K1/00;B23K1/008;B23K1/20 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文;朱燕华 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种基于钎焊方式的靶材绑定方法，包括如下步骤：(1)对靶材和背板的绑定面进行机加工，使绑定面的平面度≤0.1μm、以及粗糙度≤Ra 2μm；(2)对靶材和背板进行酸洗，酸洗后绑定面的粗糙度为Ra 2.8～3.2μm；(3)使用PVD磁控溅射方式在靶材和背板的绑定面上进行镀银处理；(4)使用熔融的SnAg合金对靶材和背板的绑定面进行浸润涂布；(5)将靶材和背板放入真空钎焊炉内，在靶材和背板的绑定面之间夹置SnCu合金箔片，然后在靶材上放置重物以施加压力，炉内抽真空至真空度≤6×10e |
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| 搜索关键词： | 一种 基于 钎焊 方式 绑定 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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