[发明专利]壬酮内酯聚合物树脂、制备方法、含有该树脂的193nm光刻胶组合物的制备方法在审
| 申请号： | 202110486618.3 | 申请日： | 2021-05-01 |
| 公开（公告）号： | CN113307907A | 公开（公告）日： | 2021-08-27 |
| 发明（设计）人： | 马潇;周浩杰;陈鹏;毛智彪;许从应 | 申请（专利权）人： | 宁波南大光电材料有限公司 |
| 主分类号： | C08F220/32 | 分类号： | C08F220/32;C08F220/18;C08F220/28;C08F220/68;G03F7/004 |
| 代理公司： | 深圳盛德大业知识产权代理事务所(普通合伙) 44333 | 代理人： | 左光明 |
| 地址： | 315800 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： |
本发明公开了壬酮内酯聚合物树脂，其特征在于包含壬酮内酯结构的功能单体,具有如下所示结构A和B中的一种：其中，R1为含两个碳原子以上的烷基基团或含有至少一个乙氧基以上结构单元的基团，所述烷基基团表示为CnH2n+1，n为大于2的整数，乙氧基单元表示为‑(C |
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| 搜索关键词： | 壬酮 内酯 聚合物 树脂 制备 方法 含有 193 nm 光刻 组合 | ||
【主权项】：
暂无信息
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