[发明专利]一种空间约束双束激光诱导冲击波清洗微纳米颗粒方法在审
| 申请号： | 202110482134.1 | 申请日： | 2021-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN113198801A | 公开（公告）日： | 2021-08-03 |
| 发明（设计）人： | 范丽莎;姚建华;张群莉;张硕文 | 申请（专利权）人： | 浙江工业大学 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;B08B13/00 |
| 代理公司： | 杭州斯可睿专利事务所有限公司 33241 | 代理人： | 王利强 |
| 地址： | 310014 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种空间约束双束激光诱导冲击波清洗微纳米颗粒方法，所述方法包括以下步骤：1)，将待清洗基体粘结在三维移动平台上，移动三维移动平台使所述待清洗基板位于激光脉冲聚焦点及腔体出口处；2)，利用第一脉冲激光束和第二脉冲激光束聚焦在腔体内诱导气体击穿产生等离子体冲击波，经过腔体内表面的反射增强冲击波强度，使得待清洗基体表面上的微纳米颗粒污染物在冲击波去除力的作用下从待清洗基板表面飞离。本发明提供了一种空间约束双束激光诱导冲击波清洗微纳米颗粒方法，能有效提高基板表面清洗面积，提高清洗效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 空间 约束 激光 诱导 冲击波 清洗 纳米 颗粒 方法 | ||
【主权项】：
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