[发明专利]一种蒸发冷却微结构的制备方法在审
| 申请号： | 202110479607.2 | 申请日： | 2021-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN113060701A | 公开（公告）日： | 2021-07-02 |
| 发明（设计）人： | 徐辉 | 申请（专利权）人： | 苏州华易航动力科技有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 苏州乐赢知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32528 | 代理人： | 王悦 |
| 地址： | 215400 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种蒸发冷却微结构的制备方法，包括以下步骤：在基片上表面电沉积一层第一金属，形成沉积层；将沉积层的表面进行精密抛磨，同时，保证一定厚度的沉积层；经抛磨后的沉积层表面涂覆一层光刻胶；将基片放置在光刻机载物台上，用曝光掩膜板进行曝光；将曝光处理后的基片放入显影液中进行显影，显影后进行清洗、干燥；干燥后基片的沉积层的表面沉积一层第二金属；再用溶剂对多余的光刻胶进行溶解；在光刻胶溶解的位置中加入刻蚀液，待溶解至指定位置倒掉多余的刻蚀液，再经清洗、干燥，得到微结构。本发明采用电沉积方法，实现高效、快速加工大面积的微结构，实现产业化生产；能够实现在同一个基片上同时加工出多个微结构。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸发 冷却 微结构 制备 方法 | ||
【主权项】：
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