[发明专利]测量球形微凸点高度的装置、方法、电子设备和存储介质在审
| 申请号： | 202110477661.3 | 申请日： | 2021-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN115272442A | 公开（公告）日： | 2022-11-01 |
| 发明（设计）人： | 孟繁昌;张滋黎;王棚;纪荣祎;王国名;崔成君;张佳;董登峰;周维虎 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G06T7/60 | 分类号： | G06T7/60 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周天宇 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本公开提供了一种测量球形微凸点高度的装置和方法，该装置包括：运动平台、照明模块、成像模块、控制和运算中心。将衬底固定在运动平台上；打开照明模块并将平行光束投射到衬底表面；控制和运算中心控制运动平台按照预设轨迹运动；成像模块采集经球形微凸点反射后的平行光束并生成图像；控制和运算中心获取图像并根据图像计算球形微凸点的高度。本公开通过分析球形微凸点位于不同位置时的光照模型，总结出测量球形微凸点过程中相对不变特征，建立了球形微凸点高度视觉测量模型，能够实现高精度球形微凸点高度测量。并且本公开提出的球形微凸点高度测量模型适用于绝大部分芯片封装过程中微凸点类型，满足了芯片封装过程中微凸点检测需求。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 球形 微凸点 高度 装置 方法 电子设备 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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