[发明专利]一种飞秒激光制备SiO2有效

专利信息
申请号: 202110476522.9 申请日: 2021-04-29
公开(公告)号: CN113182693B 公开(公告)日: 2023-02-07
发明(设计)人: 宋海英;卢美荣;刘世炳;王冰;王靓 申请(专利权)人: 北京工业大学
主分类号: B23K26/352 分类号: B23K26/352
代理公司: 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 代理人: 张立改
地址: 100124 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 一种飞秒激光制备SiO2‑金属界面膨化微纳结构的方法,涉及飞秒激光微纳加工领域。该方法采用飞秒激光直写技术,将激光聚焦于SiO2(玻璃)‑金属薄膜交界面处,在界面处对金属薄膜进行烧蚀,形成凸起的微纳尺寸结构。利用中性密度衰减片对脉冲激光能量进行控制,利用位移台控制程序对三维位移台系统进行操纵,实现扫描速度以及扫描间距的控制,建立加工参数与膨化微纳结构尺寸相对应的参数数据库。
搜索关键词: 一种 激光 制备 sio base sub
【主权项】:
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