[发明专利]晶圆盒、晶圆传送系统及晶圆传送方法有效

专利信息
申请号: 202110474775.2 申请日: 2021-04-29
公开(公告)号: CN113192872B 公开(公告)日: 2022-05-27
发明(设计)人: 李言彬;杨苏;洪兴峰;李义群 申请(专利权)人: 长鑫存储技术有限公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673;H01L21/67;H01L21/677
代理公司: 华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 梁皓茹
地址: 230601 安徽省合肥市*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 本申请涉及半导体制备技术领域,特别是涉及一种晶圆盒、晶圆传送系统及晶圆传送方法,该晶圆盒包括:盒体、晶圆扫描装置、盒盖。盒体上设有与盒体内部相连通的开口。晶圆扫描装置包括第一晶圆扫描装置,晶圆扫描装置设置于盒体的内壁上,用于扫描盒体内晶圆的存放情况。盒盖扣设于开口处。晶圆盒的盒体的内壁上设有晶圆扫描装置,晶圆扫描装置实时扫描确认晶圆盒内的晶圆的存放情况。取代了晶圆盒每次上机台时,都需要机台的机械手臂对晶圆盒中的晶圆进行扫描,确认晶圆盒内的晶圆的存放情况。如此,可以节约大量时间,进而提高产能。并且,无需购买一套相对完整的机械手臂设备,节约了设备成本。无需设置机械手臂设备,节约了机台上的空间。
搜索关键词: 晶圆盒 传送 系统 方法
【主权项】:
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