[发明专利]一种基于截距法和微环谐振腔的光器件损耗测量方法有效
申请号: | 202110472474.6 | 申请日: | 2021-04-29 |
公开(公告)号: | CN113203554B | 公开(公告)日: | 2022-03-18 |
发明(设计)人: | 阮小可;唐伟杰;储涛 | 申请(专利权)人: | 之江实验室 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02 |
代理公司: | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人: | 奚丽萍 |
地址: | 310023 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明提供一种基于截距法和微环谐振腔的光器件损耗测量方法。通过在微环谐振腔阵列中插入不同数目的待测器件,经过光谱测量、参数提取、线性拟合等步骤得到单个待测器件的损耗。该方法相比传统的光损耗截距测量法可以减小芯片面积,提高测量精度。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 截距法 谐振腔 器件 损耗 测量方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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