[发明专利]一种硅片的生产设备

摘要

本发明公开了一种硅片的生产设备，包括依次设置的初始存放部分R1、检测部分R2、硅片形成部分R3、退火部分R4、pn结形成部分R5、缓冲部分R6，以及设置于相邻部分之间的输送机构，每一个部分均包括一腔体，每一个所述腔体的入口端和出口端均设置有一个阀门，且位于上一所述腔体出口端的所述阀门与位于下一所述腔体入口端的所述阀门之间设有所述输送机构。本发明利用多个封闭的腔体和输送机构进行生产硅薄片和输送基板，使用方便，硅片生产效率高，自动化程度高，无需切割等磨损硅片的操作。