[发明专利]一种碳纳米管探针的制备方法在审
| 申请号： | 202110464872.3 | 申请日： | 2021-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN113376406A | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | 杨树明;程碧瑶;邓惠文;赵书浩;李少博;王飞 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01Q60/38 | 分类号： | G01Q60/38;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 闵岳峰 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种碳纳米管探针的制备方法，包括步骤：1)在扫描探针显微镜探针的尖端生长碳纳米管束；2)利用聚焦离子束系统对生长有碳纳米管束的探针进行加工得到细长的碳纳米管尖端。本发明能够得到长径比较大的扫描探针显微镜的探针，对高深宽比复杂微细结构的测量具有高精度的测量能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 探针 制备 方法 | ||
【主权项】：
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