[发明专利]一种磁场约束双束脉冲激光诱导冲击波清洗微纳颗粒方法在审
| 申请号： | 202110464401.2 | 申请日： | 2021-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN113102390A | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 范丽莎;姚建华;张群莉;王梁;张硕文 | 申请（专利权）人： | 浙江工业大学 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 杭州斯可睿专利事务所有限公司 33241 | 代理人： | 王利强 |
| 地址： | 310014 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种磁场约束双束脉冲激光诱导冲击波清洗微纳颗粒方法，包括以下步骤：1)将待清洗基板粘结在三维移动平台上，移动三维移动平台使待所述待清洗基板位于激光脉冲聚焦焦点正下方处；2)利用脉冲激光束和脉冲激光束聚焦在永磁铁N极和永磁铁S极之间诱导气体击穿产生等离子体冲击波，使得待清洗基板表面上的微纳米颗粒污染物在冲击波去除力的作用下从待清洗基板表面飞离。本发明在保留了双光束脉冲激光诱导冲击波清洗的绿色环保、控制方便、有效去除清洗盲区的优势的同时，能通过磁场的约束作用增强等离子体强度与存续时间，增强冲击波的强度，提高基板的清洗面积与清洗效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁场 约束 脉冲 激光 诱导 冲击波 清洗 颗粒 方法 | ||
【主权项】：
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