[发明专利]一种低压化学气相沉积炉进气装置

摘要

本发明公开一种低压化学气相沉积炉进气装置，包括:炉体，所述炉体内设置有混气机构和反应机构；所述混气机构包括混气管；所述反应机构包括隔离板；所述隔离板一侧面与所述混气管另一端端面固接；所述炉体内设置有外管；所述外管内设置有内管；所述内管与所述外管一端均与所述隔离板另一侧面固接；所述内管与所述外管的另一端固接有后密封组件；所述外管内壁与所述内管外壁之间形成环形通道；所述隔离板侧面绕所述隔离板中心周向阵列开设有若干连通孔；所述连通孔两端分别连通所述环形通道和所述混气管内腔；所述内管外壁沿轴线方向螺旋开设有若干通气孔；若干所述通气孔孔径沿所述隔离板到所述后密封组件方向依次增大。