[发明专利]一种超声换能器用压电阵元的制作方法在审
| 申请号： | 202110445995.2 | 申请日： | 2021-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN113314663A | 公开（公告）日： | 2021-08-27 |
| 发明（设计）人： | 刘悦;刘恩清;马有草;宋健 | 申请（专利权）人： | 淄博微铨新型金属功能材料有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/337 | 分类号： | H01L41/337;H01L41/29;H01L41/31;H01L41/312 |
| 代理公司： | 北京安博达知识产权代理有限公司 11271 | 代理人： | 徐国文 |
| 地址： | 255086 山东省淄博市高新区柳*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种超声换能器用压电阵元的制作方法，其包括将压电陶瓷片减薄至50μm或其以下厚度；于减薄后的压电陶瓷片的两表面分别沉积电极后，再于其中一个表面设置背衬材料，得初始压电阵元；切割初始压电阵元，得压电阵元。本发明提供的技术方案利用减薄压电阵元中压电陶瓷片厚度的工艺，同时实现了压电阵元总体厚度的减小，以及对压电陶瓷片厚度的精确控制，获得了具有可调谐振频率的压电阵元；本发明采用的减薄后再沉积电极、设置背衬材料的技术方案既可使背衬材料设置均匀，又不影响对压电陶瓷片与背衬材料的结合。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超声 器用 压电 制作方法 | ||
【主权项】：
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