[发明专利]一种硅基波导分光芯片及光谱分析系统在审
| 申请号： | 202110442976.4 | 申请日： | 2021-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN112857570A | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 王伟平;金里;于佳睿;吴月;操俊;胡小燕 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司信息科学研究院;联合微电子中心有限责任公司 |
| 主分类号： | G01J3/28 | 分类号： | G01J3/28;G01J3/18 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 谷波 |
| 地址： | 100086 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开提供一种硅基波导分光芯片及光谱分析系统，其中硅基波导分光芯片包括：耦合光栅、分束器、热光调相MZI模块、合束器和和光电探测器；热光调相MZI模块包括第一分光臂和第二分光臂；耦合光栅将输入光耦合至分束器的输入端；分束器将输入光分成第一光束和第二光束；热光调相MZI模块通过热光调相使第一分光臂中的第一光束和第二分光臂中的第二光束产生光程差，以对输入光进行干涉分光；合束器将第一分光臂输出的第一光束和第二分光臂输出的第二光束进行合束；光电探测器将合束器输出的光信号进行光电转换输出电信号，相较于现有技术，通过热光调相可灵活改变MZI两臂间光程差的大小，实现高分辨率、宽光谱范围的光谱探测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基波 分光 芯片 光谱分析 系统 | ||
【主权项】：
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