[发明专利]一种压电微机械换能器在审
| 申请号： | 202110423696.9 | 申请日： | 2021-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN113042350A | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 秦风;李慧 | 申请（专利权）人： | 广州蜂鸟传感科技有限公司 |
| 主分类号： | B06B1/06 | 分类号： | B06B1/06;B06B1/10 |
| 代理公司： | 成都聚蓉众享知识产权代理有限公司 51291 | 代理人： | 刘艳均 |
| 地址： | 510700 广东省广州市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种压电微机械换能器，属于换能器技术领域，解决了换能器由于采用多换能器组成阵列，导致器件体积较大、成本高的问题，本发明包括基底，基底包括底硅层和设置于底硅层上的埋氧层，埋氧层上方由下至上依次连接有顶硅层、底层金属层、压电材料层和顶层金属层，底硅层和埋氧层处的基底中心位置设置有背部空腔，压电材料层上形成与背部空腔形状相同、尺寸大小相同、位置相对应的振膜区域，振膜区域内的压电材料层包括安装于外侧的振膜外侧电极，振膜外侧电极内部安装有振膜内侧电极，振膜外侧电极与振膜内侧电极之间设置有隔离沟槽。本发明通过隔离沟槽将振膜区域的电极分为内侧和外侧，实现了单个换能器的高性能自发自收工作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压电 微机 械换能器 | ||
【主权项】：
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