[发明专利]一种建立晶圆良率问题数据库的方法和装置在审
| 申请号： | 202110422604.5 | 申请日： | 2021-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN113157666A | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | 徐文丞;易丛文;林孟喆;戴静安 | 申请（专利权）人： | 筏渡（上海）科技有限公司 |
| 主分类号： | G06F16/21 | 分类号： | G06F16/21;G06F16/22 |
| 代理公司： | 北京亿腾知识产权代理事务所(普通合伙) 11309 | 代理人： | 周良玉 |
| 地址： | 200090 上海市杨浦区长阳*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明实施例提供了一种建立晶圆良率问题数据库的方法和装置，该方法包括：在多个第一晶圆图中，确定其中存在预设的失效模式的若干第二晶圆图；提取若干第二晶圆图中的失效特征；根据失效特征,确定各第二晶圆图的失效类别；根据所述失效类别，获取对于不同失效类别的第二晶圆图的失效原因的调查结果；将失效类别与调查结果、失效类别相关的失效特征关联起来，保存于数据库。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 建立 晶圆良率 问题 数据库 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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