[发明专利]扫描型探针显微镜有效
| 申请号： | 202110422491.9 | 申请日： | 2018-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN113155080B | 公开（公告）日： | 2023-03-10 |
| 发明（设计）人： | 繁野雅次;渡边和俊;山本浩令 | 申请（专利权）人： | 日本株式会社日立高新技术科学 |
| 主分类号： | G01B21/30 | 分类号： | G01B21/30;G01Q70/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供扫描型探针显微镜及其探针扫描方法。扫描型探针显微镜使探针与试样表面接触，利用所述探针间歇地扫描所述试样表面，其具有：悬臂，在其前端具有所述探针；驱动部，其从所述探针与所述试样表面接触的状态起进行将所述试样和所述探针分开的分开动作；判定部，其在所述分开动作中根据所述悬臂的振动的振幅的变化或所述振动的振动频率的变化判定所述探针相对于所述试样表面的分离；以及驱动控制部，其在通过该判定部判定为分离的时刻中止所述驱动部的所述分开动作，使所述探针和所述试样表面相对移动到所述试样的下一个测定点上。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 探针 显微镜 | ||
【主权项】：
暂无信息
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