[发明专利]基于多误差实时补偿的光学自由曲面全口径检测方法有效
| 申请号： | 202110407282.7 | 申请日： | 2021-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN113175893B | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 周炼;赵世杰;郑楠;韦前才;李洁;陈贤华;张清华;王健;许乔 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01M11/02 |
| 代理公司： | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人： | 符继超 |
| 地址： | 621900*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基于多误差实时补偿的大口径光学自由曲面全口径检测装置及方法，用于检测自由曲面光学元件，包括X轴运动执行系统、Y轴运动执行系统和Z轴运动执行系统；Y轴位置测量系统用于测量X轴运动执行系统在Y轴上的位置；X轴位置测量系统用于测量Z轴运动执行系统在X轴上的位置；双轴倾角传感器用于检测所述非接触位移测头在沿X轴、Y轴运动时，非接触位移测头分别在XZ和YZ平面内的空间姿态变化量，Z轴位置测量系统用于测量非接触位移测头在Z轴上的位置；非接触位移测头沿自由曲面光学元件表面扫描运动。本发明避免测量过程中对元件表面的破坏，并实时补偿测量运动误差，提高大口径自由曲面光学元件面形误差测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 误差 实时 补偿 光学 自由 曲面 口径 检测 方法 | ||
【主权项】：
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