[发明专利]一种石墨烯加速度计有效
| 申请号： | 202110401220.5 | 申请日： | 2021-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN113219206B | 公开（公告）日： | 2022-12-16 |
| 发明（设计）人： | 张阳;党建军;李军朔;刘振宇;冯东棉;郭月;杜剑;王文一;张宇航 | 申请（专利权）人： | 西安航天精密机电研究所 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;G01P15/08 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 王杨洋 |
| 地址： | 710100 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种加速度计，具体涉及一种石墨烯加速度计。本发明的目的是解决现有加速度计采用石英摆片存在精度差、加工难度大、镀膜工艺复杂、稳定性差和可靠性差的技术问题。该石墨烯加速度计，改变了传感器和地的结构方位，将摆片作为地，上轭铁C形抛光面作为传感器正端、下轭铁C型抛光面作为传感器负端，使得传感器正端和负端可以直接从外围引出，简化了电气结构，同时缩短电气传输路径，提高电气信号(差动电容)的实时性和可靠性，提高的稳定性。采用的石墨烯材料具有良好的电气特性和物理特性，使得石墨烯加速度计具有良好的环境适应性，不再需要单独加工挠性梁，可一体加工，且摆梁的厚度不需要很薄，简化摆片结构，改善了工艺性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 加速度计 | ||
【主权项】：
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