[发明专利]一种导电耐磨自润滑碳基薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 202110393569.9 | 申请日： | 2021-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN113201712B | 公开（公告）日： | 2023-05-30 |
| 发明（设计）人： | 许伟;王磊;苏一凡;唐春梅;汪唯;王红莉;林松盛;代明江 | 申请（专利权）人： | 广东省科学院新材料研究所 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/35;C23C14/02 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文 |
| 地址： | 510000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种导电耐磨自润滑碳基薄膜及其制备方法，属于硬质薄膜技术领域。本发明所述制备方法创新地将纳米二维层状结构引入非晶碳基薄膜中，在碳基薄膜优良的耐磨自润滑特性基础上获得优异的导电性能。本发明所述方法采用高功率脉冲磁控溅射技术，通过工艺调控使非晶碳基薄膜中碳原子呈二维层状排列，同时在碳基薄膜中同时掺杂非金属元素N和金属元素Ni，使薄膜形成纳米晶‑非晶复合结构，充分发挥复合元素之间的协同作用，缓解薄膜内应力，提高薄膜导电性和减摩耐磨特性。此外，所述方法无需制备产品无需后处理工序，制备流程简单可控，可实现工业化大规模生产。本发明还公开了所述方法制备的导电耐磨自润滑碳基薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 导电 耐磨 润滑 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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