[发明专利]一种谐振式流量传感器有效
| 申请号： | 202110391530.3 | 申请日： | 2021-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN112798060B | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 王立峰 | 申请（专利权）人： | 南京深思微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01F1/05 | 分类号： | G01F1/05 |
| 代理公司： | 北京中知法苑知识产权代理有限公司 11226 | 代理人： | 李明;赵吉阳 |
| 地址： | 210046 江苏省南京市经济开*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种谐振式流量传感器，包括衬底，谐振敏感结构、读出端口结构和闭环读出电路。其中，谐振敏感结构包括：锚区，谐振梁，读出梁及其第一平衡梁，敏感梁及其第二平衡梁，以及连接梁；所述读出梁及其第一平衡梁关于谐振梁形成左右对称；所述敏感梁及其第二平衡梁关于谐振梁形成左右对称。与硅基热式流量计相比，本发明无发热元件，功耗大大降低。此外，本发明的敏感结构工作在机械谐振状态，具有对流量的灵敏度高和输出稳定性高的优势。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 谐振 流量传感器 | ||
【主权项】：
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