[发明专利]一种同心安装装置在审
| 申请号： | 202110387231.2 | 申请日： | 2021-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN113146520A | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | 孙中岳 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B25B11/02 | 分类号： | B25B11/02;B25B27/00 |
| 代理公司： | 北京思创毕升专利事务所 11218 | 代理人： | 孙向民;廉莉莉 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种同心安装装置，用于半导体工艺设备中同心部件的安装，其特征在于，同心安装装置包括：多个夹持件、调节组件和升降组件；其中，多个夹持件的一端连接于调节组件上，夹持件的另一端用作夹持端且位于同一平面，用于夹持待安装件；调节组件用于调节各夹持件的夹持端之间的距离；且调节组件的端部与升降组件相连；升降组件用于带动调节组件进行升降操作，以带动夹持件进行升降。本发明能够保证安装件的中心与腔室的中心同轴，实现了腔室与安装件安装的统一性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 同心 安装 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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