[发明专利]一种液晶玻璃基板减薄蚀刻设备在审
申请号: | 202110371271.8 | 申请日: | 2021-04-07 |
公开(公告)号: | CN113233780A | 公开(公告)日: | 2021-08-10 |
发明(设计)人: | 王伟 | 申请(专利权)人: | 合肥京东方半导体有限公司 |
主分类号: | C03C15/00 | 分类号: | C03C15/00 |
代理公司: | 合肥律众知识产权代理有限公司 34147 | 代理人: | 练兰英 |
地址: | 230000 *** | 国省代码: | 安徽;34 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明公开了一种液晶玻璃基板减薄蚀刻设备,包括用于安装玻璃基板的安装装置和用于喷淋蚀刻液的喷淋装置,安装装置包括相对设置的中枢端和自由端,自由端以中枢端为轴旋转,改变置于安装装置上的玻璃基板的倾斜角度,喷淋装置设置在倾斜的玻璃基板上端的上部位置,由倾斜的玻璃基板上端向玻璃基板上均匀喷淋蚀刻液;本发明液晶玻璃基板减薄蚀刻设备,通过将液晶玻璃基板进行倾斜,一方面可以实现对液晶玻璃基板一面进行减薄,另一方面使得蚀刻液在液晶玻璃基板表面流动,冲洗反应产生的白色粉末状沉淀等,提高减薄后液晶玻璃基板表面质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 液晶 玻璃 基板减薄 蚀刻 设备 | ||
【主权项】:
暂无信息
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