[发明专利]一种集成可调硅光延时单元及延时线有效
| 申请号： | 202110371170.0 | 申请日： | 2021-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN113189706B | 公开（公告）日： | 2022-11-11 |
| 发明（设计）人： | 武爱民;李昂;周悦;吕东升;吴龙生 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G02B6/136 | 分类号： | G02B6/136;G02B6/122;G02B6/12;G02B6/28 |
| 代理公司： | 上海泰能知识产权代理事务所(普通合伙) 31233 | 代理人： | 钱文斌 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种集成可调硅光延时单元及延时线，其中，延时单元包括依次相连的光开关、延时结构和可调光衰减器；光开关包括多模干涉输入器和多模干涉输出器，多模干涉输入器与多模干涉输出器通过两段厚膜深刻蚀的硅光波导分别连接，两段厚膜深刻蚀的硅光波导中有一段的上方设置有氮化物电极；延时结构包括两条不同长度的延时路径，延时路径为厚膜深刻蚀的硅光波导；可调光衰减器集成在每条延时路径后通过自由载流子吸收机制实现非开关切换路径的光衰减；多模干涉输入器、多模干涉输出器和可调光衰减器均采用厚膜深刻蚀。本发明能够满足低损耗、大范围可调延时、高精度、高集成度等需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成 可调 延时 单元 | ||
【主权项】：
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