[发明专利]一种便于更换坩埚的高通量薄膜制备装置及其应用在审
| 申请号： | 202110358133.6 | 申请日： | 2021-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN112877649A | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 郭鸿杰;杨露明;冯秋洁 | 申请（专利权）人： | 宁波星河材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 潘登 |
| 地址： | 315000 浙江省宁波市宁波高*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种便于更换坩埚的高通量薄膜制备装置及其应用，包括蒸发腔与存储腔；所述蒸发腔通过软连接管路与存储腔连通；所述蒸发腔与存储腔的连通管路设置有截止件；所述蒸发腔内设置有蒸发源以及用于放置坩埚的凹槽；所述存储腔内设置有坩埚存储架以及机械手；所述机械手用于坩埚在凹槽以及坩埚存储架之间的运输；所述坩埚为圆台状坩埚。本发明通过存储腔的设置，实现在真空环境下对坩埚进行更换，从而实现多种材料的交替镀膜，有利于实现多种材料对同一基片的真空镀膜，且能够完全避免材料的交叉污染问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 便于 更换 坩埚 通量 薄膜 制备 装置 及其 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波星河材料科技有限公司，未经宁波星河材料科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110358133.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
