[发明专利]一种高速低成本光谱共焦位移测量方法及装置有效
申请号: | 202110355600.X | 申请日: | 2021-04-01 |
公开(公告)号: | CN113074644B | 公开(公告)日: | 2022-11-01 |
发明(设计)人: | 曹兆楼;沈孟贤;张晓浩;裴世鑫;李金花;咸冯林;叶井飞;杨明珠 | 申请(专利权)人: | 南京信息工程大学 |
主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02 |
代理公司: | 南京钟山专利代理有限公司 32252 | 代理人: | 戴朝荣 |
地址: | 210044 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种高速低成本光谱共焦位移测量方法及装置,装置包括控制器、照明模块、Y型光纤、探测模块、色散镜头、待测元件、标定模块;照明模块电动控制多组LED,提供覆盖全部可见光波段的光源;光源耦合入Y型光纤,出射光进入色散镜头被聚焦至待测元件表面,波长不同时聚焦光点位置不同,待测元件表面反射光返回Y型光纤;探测模块测量待测元件表面上时反射光光强;标定模块用于标定色散镜头位置与探测模块模拟电压信号之间的关系;控制器根据不同LED照明时的光强数据计算聚焦光点波长及其对应的待测元件表面位置信息。本发明通过使用多波长光源照明及高速点探测器方法,克服了传统光谱共焦技术使用光谱仪速度慢且成本高的缺陷。 | ||
搜索关键词: | 一种 高速 低成本 光谱 位移 测量方法 装置 | ||
【主权项】:
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