[发明专利]一种极化不敏感的太赫兹调制器及其制备方法在审
| 申请号： | 202110350364.2 | 申请日： | 2021-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN112987345A | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | 马勇;杨力豪;杨龙亮;潘武;何金橙;刘艺 | 申请（专利权）人： | 重庆邮电大学 |
| 主分类号： | G02F1/015 | 分类号： | G02F1/015;G02F1/01 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 林菲菲 |
| 地址： | 400000 重*** | 国省代码： | 重庆;50 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种极化不敏感的太赫兹调制器及其制备方法，每个调制单元包括两个开口的弓形超材料结构、高电子迁移率晶体管、十字形结构连通的第一栅极馈线和第二栅极馈线和源漏馈线，两个弓形超材料结构关于第一栅极馈线对称，弓形超材料结构的开口处匹配高电子迁移率晶体管，高电子迁移率晶体管的源极和漏极分别连接弓形超材料结构开口的两侧，高电子迁移率晶体管通过第二栅极馈线与肖特基电极连接，弓形超材料结构通过源漏馈线与欧姆电极连接，采用弓形超材料结构开口，通过外加激励可控制HEMT中的二维电子气的浓度，可控制太赫兹波的通断，器件对极化方向x和y的太赫兹波不敏感，在220GHz处的调制器的调制深度均为93％。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 极化 敏感 赫兹 调制器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于重庆邮电大学，未经重庆邮电大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110350364.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
