[发明专利]一种高精度的光栅拼接误差校正装置和方法有效
| 申请号： | 202110346767.X | 申请日： | 2021-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN112904522B | 公开（公告）日： | 2022-02-22 |
| 发明（设计）人： | 糜小涛;杨国军;齐向东;张善文;李逸凡;江思博;周敬萱 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G02B7/00 | 分类号： | G02B7/00;G02B5/18 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 魏毅宏 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高精度的光栅拼接误差校正装置和方法，所述高精度的光栅拼接误差校正装置的二维校正单元结合采用线性促动器和柔性铰接的结构对第一光栅进行位置姿态调整，实现了高精度和高稳定性的二维拼接误差的校正；所述高精度的光栅拼接误差校正装置的的三维校正单元结合采用线性促动器和弹性柱的结构对第二光栅进行位置姿态调整，实现了高精度和高稳定性的三维拼接误差的校正，如此经由所述二维校正单元和所述三维校正单元的误差校正效果的耦合，综合实现了对所述拼接光栅的五维光栅拼接误差的高精度校正，使得所述高精度的光栅拼接误差校正装置具有拼接误差校正精度高，工作稳定性高的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高精度 光栅 拼接 误差 校正 装置 方法 | ||
【主权项】：
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