[发明专利]一种易于实现电光波速匹配的薄膜电光调制器及制备方法有效
| 申请号： | 202110330085.X | 申请日： | 2021-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN112987346B | 公开（公告）日： | 2022-10-14 |
| 发明（设计）人： | 帅垚;杨小妮;乔石珺;吴传贵;罗文博 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G02F1/03 | 分类号： | G02F1/03;G02F1/035 |
| 代理公司： | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人： | 闫树平 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明属于集成光学器件领域，具体为一种易于实现电光波速匹配的薄膜电光调制器及制备方法。通过在埋层上设有空腔，使得原本在无空腔的条件下，集中在埋层微波信号在引入空腔以后，大部分进入到空腔结构中传输，从而大大减小了微波有效折射率；使其易于实现电光波速匹配。即使在高于20GHz带宽时，依然能够实现良好的电光波速匹配，使其保持最佳调制效率。与现有技术相比，通信速率更快，且不会增加电极与光波导之间的距离，因此不会影响电光重叠积分，也不会导致半波电压的增加。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 易于 实现 电光 波速 匹配 薄膜 调制器 制备 方法 | ||
【主权项】：
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