[发明专利]升降装置、定位设备和腔室设备有效
| 申请号： | 202110314216.5 | 申请日： | 2021-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN112960594B | 公开（公告）日： | 2022-11-15 |
| 发明（设计）人： | 郝琪 | 申请（专利权）人： | 中科晶源微电子技术（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B66F7/14 | 分类号： | B66F7/14;B66F7/28;F16H25/22;F16H25/24;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京汇知杰知识产权代理有限公司 11587 | 代理人： | 吴焕芳;杨勇 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开提供用于相对于参照物提升物体的升降装置，移位设备以及腔室设备，所述升降装置包括：支撑台，形成有容纳孔，所述物体由所述容纳孔保持；电机，相对于所述支撑台或所述参照物固定；和至少一对升降组件。每个升降组件包括：螺母，固定至所述参照物；和竖直地联接于所述螺母与所述支撑台之间的丝杠。所述丝杠的上端与所述电机经由二者之间同步传动的传动机构而彼此成驱动连接，所述传动机构呈带传动机构或链传动结构的形式，所述丝杠的下部与所述螺母之间形成丝杠螺母副；且所述升降装置还包括至少一个锁止组件，所述至少一个锁止组件安置成分别与至少一对升降组件的丝杠联接且被配置成仅允许丝杠单向转动。 | ||
| 搜索关键词： | 升降 装置 定位 设备 | ||
【主权项】：
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