[发明专利]蚀刻液和铜/钼金属线的蚀刻方法在审
| 申请号： | 202110313616.4 | 申请日： | 2021-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN113106454A | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 赵芬利 | 申请（专利权）人： | TCL华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/18 | 分类号： | C23F1/18;C23F1/26;C23F1/02 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 徐世俊 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供一种蚀刻液和铜/钼金属线的蚀刻方法。所述蚀刻液包括占所述蚀刻液总质量百分比为15％‑25％的过氧化氢、2％‑10％的有机酸、0.2％‑2％的过氧化氢稳定剂、0.001％‑0.25％的抑制剂、1.1％‑5％酸碱度调节剂以及1％‑5％的无机盐，其余为水。本申请所提供的蚀刻液不含氟化物，对环境和器件都不会产生负面影响，且具有蚀刻速率适中、稳定性好、蚀刻角度适宜、线宽损失小以及无金属残留等优势。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 金属线 方法 | ||
【主权项】：
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