[发明专利]精确电阻率测量装置及方法在审

专利信息
申请号: 202110312561.5 申请日: 2021-03-24
公开(公告)号: CN113030583A 公开(公告)日: 2021-06-25
发明(设计)人: 胡晓军;杨帆 申请(专利权)人: 武汉理工大学
主分类号: G01R27/14 分类号: G01R27/14;G01R1/04
代理公司: 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 代理人: 王杰
地址: 430070 湖*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明涉及一种精确电阻率测量装置,包括样品固定装置、测量线路转换装置和数据采集系统;样品固定装置包括磁力吸盘、样品台、探针台、样品和探针,样品台与探针台均置于磁力吸盘上,样品置于样品台上,四个探针台分布于样品台四周,每一探针台上固定安装一根弹簧探针,通过各探针内部的弹簧结构实现探针与样品的点接触;测量线路转换装置包括插板和接线柱,可实现测量线路的快速转换;数据采集系统包括直流恒流源、高精度电压表和计算机操作系统,电表与计算机系统连接以实现数据的自动采集与存储。本发明用磁力吸盘实现样品位置的固定,利用探针减小与样品接触面,提高了检测的准确性;借助弹簧探针的可伸缩性可用于测量不同尺寸样品的电阻率。
搜索关键词: 精确 电阻率 测量 装置 方法
【主权项】:
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