[发明专利]一种用于热脉冲法响应信号校正的全场校正方法有效
申请号: | 202110312270.6 | 申请日: | 2021-03-24 |
公开(公告)号: | CN113125867B | 公开(公告)日: | 2022-04-01 |
发明(设计)人: | 郑飞虎;张煜;张冶文 | 申请(专利权)人: | 同济大学 |
主分类号: | G01R29/14 | 分类号: | G01R29/14 |
代理公司: | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人: | 赵继明 |
地址: | 200092 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及一种用于热脉冲法响应信号校正的全场校正方法,包括:测量待测样品薄膜的实际热响应电流信号,并转化为频域表达式,然后根据预先获取的系统传递函数,对实际热响应电流信号进行校正;系统传递函数的获取包括:对待测样品薄膜进行金属化处理,然后施加低电场,接着对待测样品薄膜一侧的金属电极击打短激光,测量待测样品薄膜的实测热响应电流信号;根据激光和待测样品薄膜材料参数,计算待测样品薄膜的理想位移电流信号;将实测热响应电流信号和理想位移电流信号分别转化为频域表达式,从而计算系统传递函数。与现有技术相比,本发明能降低系统误差对响应信号的干扰,在此基础上进行数据分析可获得更准确的空间电荷分布信息。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 脉冲 响应 信号 校正 全场 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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