[发明专利]一种用于热脉冲法响应信号校正的全场校正方法有效

专利信息
申请号: 202110312270.6 申请日: 2021-03-24
公开(公告)号: CN113125867B 公开(公告)日: 2022-04-01
发明(设计)人: 郑飞虎;张煜;张冶文 申请(专利权)人: 同济大学
主分类号: G01R29/14 分类号: G01R29/14
代理公司: 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 代理人: 赵继明
地址: 200092 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明涉及一种用于热脉冲法响应信号校正的全场校正方法,包括:测量待测样品薄膜的实际热响应电流信号,并转化为频域表达式,然后根据预先获取的系统传递函数,对实际热响应电流信号进行校正;系统传递函数的获取包括:对待测样品薄膜进行金属化处理,然后施加低电场,接着对待测样品薄膜一侧的金属电极击打短激光,测量待测样品薄膜的实测热响应电流信号;根据激光和待测样品薄膜材料参数,计算待测样品薄膜的理想位移电流信号;将实测热响应电流信号和理想位移电流信号分别转化为频域表达式,从而计算系统传递函数。与现有技术相比,本发明能降低系统误差对响应信号的干扰,在此基础上进行数据分析可获得更准确的空间电荷分布信息。
搜索关键词: 一种 用于 脉冲 响应 信号 校正 全场 方法
【主权项】:
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