[发明专利]高温高压的钳位保护的器件结构及制造方法有效
| 申请号： | 202110307360.6 | 申请日： | 2021-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN113517339B | 公开（公告）日： | 2022-05-24 |
| 发明（设计）人： | 许柏松;陈晓伦;徐永斌;叶新民;沈晓东;朱瑞;赵飞;欧应辉;任艳炯 | 申请（专利权）人： | 江苏新顺微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/735 | 分类号： | H01L29/735;H01L29/06;H01L21/331 |
| 代理公司： | 上海申浩律师事务所 31280 | 代理人： | 赵建敏 |
| 地址： | 214431 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了高温高压的钳位保护的器件结构及制造方法。高温高压的钳位保护的器件结构，包括重型掺磷衬底，重型掺磷衬底上方设有高阻区；高阻区的中央开设有主沟槽，主沟槽内形成结终端延伸区，结终端延伸区的右端底部开设有沟槽，沟槽内形成基区，基区内形成有发射区；高阻区的上方形成有氧化层；还包括左右设置的基区金属连接层以及发射区金属连接层，基区金属连接层与发射区金属连接层位于氧化层的上方，且基区金属连接层与基区短接，发射区金属连接层与发射区短接；还包括铝钳位保护结构，铝钳位保护结构与基区短接，且位于基区的外围。铝钳位保护可以将高温高压下的可动电荷屏蔽在基区主结外部，减小聚集的电荷对主结的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 高温 高压 保护 器件 结构 制造 方法 | ||
【主权项】：
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