[发明专利]一种面板缺陷检测设备有效
申请号: | 202110305681.2 | 申请日: | 2021-03-19 |
公开(公告)号: | CN113176277B | 公开(公告)日: | 2022-12-27 |
发明(设计)人: | 王绍凯;黄运;罗川淦;谭久彬 | 申请(专利权)人: | 哈工大机器人(中山)无人装备与人工智能研究院 |
主分类号: | G01N21/95 | 分类号: | G01N21/95;G01N21/01 |
代理公司: | 北京隆源天恒知识产权代理有限公司 11473 | 代理人: | 段守富 |
地址: | 528400 广东省中山市翠亨新区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供了一种面板缺陷检测设备,涉及面板缺陷检测技术领域,包括承载台、第一龙门、第二龙门、调平机构、初检机构和复检机构,第一龙门的两端和第二龙门的两端分别通过调平机构连接于承载台上,初检机构设于第一龙门上,初检机构适于在第一龙门上移动,复检机构设于第二龙门上,复检机构适用在第二龙门上移动,初检机构用于扫描待测面板,和复检机构用于对待测面板进行复检。通过上述设置,从而可通过可升降的调平机构调节第一龙门的两端高度和/或第二龙门的两端高度,从而可通过调节相应的调平机构保证第一龙门和第二龙门与承载台平行,从而使得初扫相机和复扫相机具有正确的成像角度,从而保证成像效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 面板 缺陷 检测 设备 | ||
【主权项】:
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