[发明专利]一种高防潮性稳定的室温气体传感器制备方法在审
| 申请号： | 202110301758.9 | 申请日： | 2021-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN113147106A | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | 王丽娟;李炳昆;周影;朱阳阳;王璐;吴迪;凯彩阿依克里木 | 申请（专利权）人： | 长春工业大学 |
| 主分类号： | B32B3/08 | 分类号： | B32B3/08;B32B9/00;B32B9/04;B32B27/06;B32B27/30;B32B33/00;G01N33/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 130012 吉林*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： |
本发明是一种高防潮性稳定的室温气体传感器制备方法，利用高掺杂硅作衬底层（1），二氧化硅作绝缘层（2），聚苯乙烯作修饰层（3），连续快速生长六噻吩超薄诱导层（4）和酞菁锌有机纳晶（5）构成气体敏感层。在有机纳晶上利用热蒸发生长超薄PMMA防水涂层（6），最后再蒸镀银作为金属电极。利用酞菁锌有机纳晶（5）实现对NO |
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| 搜索关键词： | 一种 防潮 稳定 室温 气体 传感器 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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