[发明专利]形成金属电接触体、制造垂直腔面发射激光器的方法在审
| 申请号： | 202110299676.5 | 申请日： | 2021-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN113497408A | 公开（公告）日： | 2021-10-12 |
| 发明（设计）人： | R·克尔纳;A·魏格尔 | 申请（专利权）人： | 通快光电器件有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/042 | 分类号： | H01S5/042;H01S5/183 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 周家新 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种在垂直腔面发射激光器的半导体层堆叠(10)内形成金属电接触体(40)的方法，所述方法包括：在半导体层堆叠(10)中形成接触体孔(24)，接触体孔具有底部(26)和从底部(26)延伸的侧壁(28)；在接触体孔内设置光致抗蚀剂掩模(30)，光致抗蚀剂掩模覆盖接触体孔(24)的侧壁(28)，光致抗蚀剂掩模具有开口(32)，开口延伸至接触体孔(24)的底部(26)；对接触体孔的底部(26)进行各向同性湿法化学蚀刻；在接触体孔的底部(26)上沉积金属(38)；剥离光致抗蚀剂掩模(30)，以使接触体孔(24)的底部(26)上的金属(38)保留为金属电接触体(40)。所述方法可用于VCSEL的制造。 | ||
| 搜索关键词： | 形成 金属 接触 制造 垂直 发射 激光器 方法 | ||
【主权项】：
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