[发明专利]MEMS陀螺仪及其制备封装方法有效
| 申请号： | 202110296220.3 | 申请日： | 2021-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN113091721B | 公开（公告）日： | 2022-11-18 |
| 发明（设计）人： | 吴国强;吴忠烨;杨尚书 | 申请（专利权）人： | 武汉大学 |
| 主分类号： | G01C19/5621 | 分类号： | G01C19/5621;G01C19/5628 |
| 代理公司： | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 肖明洲 |
| 地址： | 430072 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS陀螺仪及其制备封装方法。MEMES陀螺仪为音叉式陀螺结构，包含外框、质量块、锚点、驱动单元、检测单元、一级弹性连接梁、二级弹性连接梁和耦合弹性连接梁。其驱动模式为两个质量块相对于外框面内反向振荡运动，感应模式为整体结构面内扭摆运动。通过位于外框四角的感应电极差分方式输出检测到的科氏力信号。MEMS陀螺仪驱动质量块实现了全耦合，同时具有较少的锚点结构，可有效抑制由加工误差和封装应力所引起误差，从而提高MEMS陀螺仪的精度和性能。本发明的制备封装方法，利用圆片级真空键合的方法实现了对器件的真空封装，降低了器件设计、制备以及电学布线的难度，方法简单且高效。 | ||
| 搜索关键词： | mems 陀螺仪 及其 制备 封装 方法 | ||
【主权项】：
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