[发明专利]对称多孔结构的光学涡旋拓扑荷近场检测结构及方法有效
| 申请号： | 202110292469.7 | 申请日： | 2021-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN113063506B | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 杨元杰;谢德昆;董淼 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01J9/02 | 分类号： | G01J9/02 |
| 代理公司： | 成都君合集专利代理事务所(普通合伙) 51228 | 代理人： | 尹新路 |
| 地址： | 611731 四川省成都市高新区（*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明基于SPP的特点提出了一种对称多孔结构的光学涡旋拓扑荷近场检测结构及方法，其仅需要在金膜上刻蚀几个按照圆环分布的圆形小孔，容易加工、刻蚀简单。由于表面等离激元的特点，实现了近场轨道角动量检测，因此检测器的大小得到很大的压缩，总的尺寸为十微米量级。在检测原理方面其把不同拓扑荷的入射光和规则且彼此具有明显不同的干涉图案相联系，不需要通过测量角度或者距离等参数就可以直观地获得入射光的拓扑荷值，在高集成度和高微型化的光学系统中具有应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 对称 多孔 结构 光学 涡旋 拓扑 近场 检测 方法 | ||
【主权项】：
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